超熱酸素分子線によるCu(110)表面上での酸化物生成の表面温度依存性

Surface temperature dependence of oxides formation at Cu(110) surface irradiated by oxygen molecular beams with hyperthermal energy

橋之口 道宏*; 岡田 美智雄*; 吉越 章隆 ; 寺岡 有殿

Hashinokuchi, Michihiro*; Okada, Michio*; Yoshigoe, Akitaka; Teraoka, Yuden

これまでの研究から、Cu表面酸化反応には面方位依存性があり、(110)面においてはCuやO原子の拡散過程が酸化膜形成に重要な役割を果たすことが示唆された。そこで本研究では、軟X線放射光光電子分光と超熱酸素分子線を用いてCu110表面における酸化物生成の表面温度依存性を調べた。高温ではCuやO原子の拡散が促進されることから、酸素吸着量が増加し、また、超熱酸素分子の並進運動エネルギーに依存して酸素吸着曲線が変化することも見いだされた。

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