超音速酸素分子線の並進運動エネルギーで誘起されるNi(001)表面酸化反応の放射光光電子分光解析

Synchrotron radiation photoemission spectroscopy of Ni(001) surface oxidation induced by translational energy of supersonic O molecular beam

岩井 優太郎*; 寺岡 有殿; 岡田 隆太; 吉越 章隆 

Iwai, Yutaro*; Teraoka, Yuden; Okada, Ryuta; Yoshigoe, Akitaka

Niの極薄酸化膜の形成制御と酸化反応機構の解明を目的とし、超音速酸素分子線を用いてNi(001)表面を酸化し、表面酸化状態とその酸素並進運動エネルギー依存性をその場放射光光電子分光法で観察した。酸素供給量ゼロにおける酸素吸着曲線の傾きから評価した相対的な初期酸化速度を比較すると、バックフィリング酸化の場合が最大で、分子線酸化では並進運動エネルギーを大きくするとおおむね1.5eV以上では初期酸化速度が減少する傾向が見られた。バックフィリング酸化の吸着確率が分子線酸化のそれより大きいという結果は、物理吸着状態を経由した解離吸着機構を示唆している。分子線酸化における活性化吸着の有無については、0.3eVから1.5eVの領域で初期酸化速度の並進運動エネルギー依存性に極大が明確でないことから、今後、0.3eV以下の領域での振る舞いを明らかにする必要がある。

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