放射光ビームラインにおける"スクロールポンプ動作状況監視システム(SCP-MS)"の開発

Development of a "scroll pump operation status monitoring system(SCP-MS)" for use at a synchrotron radiation beamline

山岡 慎吾; 清水 由佳*; 福田 義博*; 菖蒲 敬久  ; 小西 啓之

Yamaoka, Shingo; Shimizu, Yuka*; Fukuda, Yoshihiro*; Shobu, Takahisa; Konishi, Hiroyuki

SPring-8の放射光ビームラインにおいて、放射光源から実験ステーションまでの輸送部の真空維持・管理は欠かせないものである。真空維持には、ターボ分子ポンプとスクロールポンプで構成される真空排気ユニットを用いている。しかし、BL22XUにおいて真空排気ユニットの一部であるスクロールポンプの動作不良が報告されている。真空排気ユニットの多くは放射線濃度の高い遮蔽ハッチ内に設置されており発見が遅れるため、結果的に動作不良のまま運転し続けるという状況に陥っていた。そこで今回、スクロールポンプの動作不良を早期発見するため、"スクロールポンプ動作状況監視システム(SCP-MS)"の開発を行った。本システムは、スクロールポンプの真空度とモータ電流値を同時測定しモニタリングできるため、今まで目視では捉えられなかったスクロールポンプの状況を遮蔽ハッチ外からでも捉えることが可能である。実際に真空排気セクションで使用しているスクロールポンプに"スクロールポンプ動作状況監視システム(SCP-MS)"を導入したところ、動作状況を把握するのに十分な真空度とモータ電流値の変化を捉えることができた。本稿では、その詳細について記述する。

At SPring-8 synchrotron radiation beamlines, it is essential to maintain a vacuum between the radiation source and the experimental station. This is achieved by using scroll pumps and turbo molecular pumps. However, scroll pump malfunctions have been reported at BL22XU. Since many of the pumps are located inside radiation-shielding hutches, malfunctions often go un-noticed. As a result, operations can continue despite the malfunction. To facilitate the early detection of scroll pump malfunctions, we have developed a "scroll pump operating status monitoring system (SCP-MS)". The system simultaneously measures motor current and vacuum pressure at the scroll pump. It is possible to monitor pumps from outside of the shielding hutch, something which was not possible until now. The (SCP-MS) has been installed to monitor scroll pumps in actual operation, to monitor the change of the motor current value and vacuum pressure. We report on the detail of the system.