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X線光電子分光における時空間計測/解析技術の開発; NAP-HARPESから4D-XPSへ

Development of ${it spatiotemporal}$ measurement and analysis techniques in X-ray photoelectron spectroscopy; From NAP-HARPES to 4D-XPS

豊田 智史*; 山本 知樹*; 吉村 真史*; 住田 弘祐*; 三根生 晋*; 町田 雅武*; 吉越 章隆 ; 鈴木 哲*; 横山 和司*; 大橋 雄二*; 黒澤 俊介*; 鎌田 圭*; 佐藤 浩樹*; 山路 晃広*; 吉野 将生*; 花田 貴*; 横田 有為*; 吉川 彰*

Toyoda, Satoshi*; Yamamoto, Tomoki*; Yoshimura, Masashi*; Sumida, Hirosuke*; Mineoi, Susumu*; Machida, Masatake*; Yoshigoe, Akitaka; Suzuki, Satoru*; Yokoyama, Kazushi*; Ohashi, Yuji*; Kurosawa, Shunsuke*; Kamada, Kei*; Sato, Hiroki*; Yamaji, Akihiro*; Yoshino, Masao*; Hanada, Takashi*; Yokota, Yui*; Yoshikawa, Akira*

X線光電子分光法における時空間的な測定・解析技術を開発した。はじめに、NAP-HARPES (Near Ambient Pressure Hard X-ray Angle-Resolved Photo Emission Spectroscopy)データにより、ゲート積層膜界面の時分割深さプロファイル法を開発した。この手法を用いて時分割ARPESデータからピークフィッティングとデプスプロファイリングを迅速に行う手法を確立し、4D-XPS解析を実現した。その結果、従来の最大エントロピー法(MEM)とスパースモデリングのジャックナイフ平均法を組み合わせることで、深さ方向プロファイルを高精度に実現できることがわかった。

We have developed ${it spatiotemporal}$ measurement and analysis techniques in X-ray photoelectron spectroscopy. To begin with, time-division depth profiles of gate stacked film interfaces have been achieved by NAP-HARPES (Near Ambient Pressure Hard X-ray Angle-Resolved Photo Emission Spectroscopy) data. We then have promoted our methods to quickly perform peak fittings and depth profiling from time-division ARPES data, which enables us to realize 4D-XPS analysis. It is found that the traditional maximum entropy method (MEM) combined with Jackknife averaging of sparse modeling in NAP-HARPES data is effective to perform dynamic measurement of depth profiles with high precision.

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