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/Si(001)系における初期反応ダイナミクス寺岡 有殿; 吉越 章隆
日本真空協会関東支部平成13年度第3回研究例会資料, p.1 - 8, 2001/00
BL23SUに設置した表面反応分析装置を用いて、超音速O分子線を使って形成したシリコン酸化膜を高分解能放射光を活用してその場光電子分光測定し、清浄Si(001)表面と残留HOにより部分的に酸化されたSi(001)表面の初期酸化に対するO分子の並進運動エネルギーの影響を3eVまでの範囲で実験的に研究した。部分酸化表面で明らかに見られた閾値は清浄表面では不明瞭であった。その原因は清浄表面では二量体の架橋位置からO原子がバックボンドに室温でも自己拡散するのに対して、部分酸化表面ではダングリングボンドを終端したH原子やOH基が拡散経路を阻むためと解釈された。Si-2pや光電子分光から二量体にHOが解離吸着した部位はO分子によって酸化されにくいにもかかわらず、運動エネルギーの作用で酸化が促進され室温では0.5nm程度まで極薄酸化膜形成を制御できることが明らかとなった。
荻原 徳男; 神保 龍太郎*; 西堂 雅博; 斉藤 芳男*; 道園 真一郎*
真空, 35(3), p.174 - 176, 1992/00
現在原研で稼働中のJT-60Uにおいては、第一壁およびダイバータ板に等方性黒鉛およびC/C材を用いている。核融合積をより高めるためには、炭素・酸素といった不純物のより徹底した低減が必要であることが今までのプラズマ実験から明らかになってきた。そこでJT-60UではB/C系材料を用いて上記不純物を除去することを計画している。そこで、各種製法により作製したB/C系材料に酸素イオンを照射して、その酸素ゲッタリング作用をAESを用いて調べた。その結果、炭素のみでは酸素の捕捉はおきないが、Bを含む試料においては、明らかに酸素の捕捉がおきている。この酸素を捕捉している層は、ArイオンスパッタリングしたときのAESピークの変化から、きわめて浅い(~10層程度)ことがわかった。
荻原 徳男; 志甫 諒; 渡辺 聡彦*; 坂本 慶司; 菊地 正彦; 大谷 俊介*; 石塚 浩*
真空, 35(3), p.392 - 394, 1992/00
冷陰極は現在極高真空との関連で注目をあつめている。すなわち、真空を乱すことなく電子を引き出せるので、電離真空計において熱陰極の代わりに電子源として使用することが考えられている。一方、自由電子レーザーへの応用という観点からも冷陰極は注目される。それは高輝度でエネルギーの広がりがきわめて少ない電子ビームを取り出しうるからである。1cm
あたり10
個のチップが組込めれば、ビーム径1cm
・電流1KAの電子ビームが生成可能となる。ところで、大電流をうるには耐熱性の問題から、パルス的な引き出しとなる。そこで我々はパルス的な運転における冷陰極電子源の特性を調べた。その結果、電圧の印加される時間に同期して,フィールドエミッションによる放出電流を確認した。今後、パルス巾の短縮・電流値の増大をはかる。
小原 建治郎; 村上 義夫
真空, 33(10), p.804 - 812, 1990/10
真空用メタルガスケットフランジの、シール性能の向上を、メタルガスケットの材料の観点から試験、考察した。すなわち、従来からのガスケット材料である無酸素銅に比べ、耐熱性をはじめとする機械的特性に優れた銀入無酸素銅をジルコニウム入無酸素銅からガスケットを製作し、その性能を比較試験した。その結果、ジルコニウムを0.02%含有し、10%の冷間加工を施したジルコニウム銅製ガスケットが、他の材料によるガスケットに比べ、室温から高温(試験温度400
C)においても、きわめて優れた性能を示すことがわかった。講演では、その後も継続して実施している試験の結果も含めて発表する予定である。
小原 建治郎; 村上 義夫; 長沼 正光*; 喜多村 和憲*; 内田 孝穂*; 近藤 光昇*
真空, 33(3), p.326 - 329, 1990/00
1987年から試作・開発を続けている標記フランジの真空リーク試験の結果について発表する。今回は、短時間での加熱・冷却と長時間連続加熱を組み合わせた熱サイクル試験を、口径70、152、253mmのフランジについて各5サンプル実施した結果(5サンプル試験)及びクランジに静的な片持ち荷重を加え、熱サイクルを加えた時の試験(負荷荷重試験)の結果について報告する。5サンプル試験では大口径フランジ(253mm)に初期加熱時若干のリークが検出される場合(この現象は従来のフランジにもたびたびみられる)もあるが、その後の増し締めでリークは防止できることがわかった。
小原 建治郎; 中村 和幸; 村上 義夫; 小浜 政夫*; 近藤 光昇*
真空, 31(5), p.342 - 346, 1988/05
真空装置の保守、点検において、真空を破ることなくこれらの作業を行うための機器の原形として、多関節マニプレータの適用を考えた。今回の実験では、関節数9、自由度15、アーム全長2.4mの多関節模擬した試験装置を製作し、真空中での試験を行なった。
松崎 誼
真空, 31(5), p.550 - 553, 1988/05
トカマク装置近傍で真空計を使用するに際して、強い磁場のため磁気シールドを行う必要がある。この論文では、真空計器用として、汎用的に使用される様に磁気シールドした真空フランジ付円筒を製作し、そのシールド特性を計算・実測し、効果を実験した。
柴田 猛順; 柴沼 清; 清水 康司*; 松岡 祥隆*
真空, 31(5), p.543 - 545, 1988/00
真空度の測定子で絶対圧の測定できるものは限られている。
柴田 猛順; 鈴木 美寿*; 上田 浩二; 村田 雅人*; 小塙 章*; 有澤 孝
真空, 31(5), p.559 - 561, 1988/00
蒸着装置等で真空容器内に高温の液体金属の入ったるつぼを使うが、るつぼ周囲の冷却のため冷却水配管がるつぼ付近を走ることが多い。このため冷却パイプが破損して水と液体金属が接触して蒸気爆発を起こす可能性がある。蒸気爆発は、軽水炉の事故時解析のためなどに以前から調べられているが、真空中での蒸気爆発の実験例はほとんどない。ここでは、真空容器内の液体鉛および液体アルミニウムに水を注入し、鉛では真空中でも蒸気爆発が起こること、アルミニウムでは蒸気爆発が起きにくいことを観察し、その反応の程度、金属の微粒子化、圧力上昇等を記録し、考察を加えた。
柴田 猛順; 有澤 孝; 堀池 寛; 奥村 義和; 田中 茂
真空, 31(5), p.452 - 455, 1988/00
バケットプラズマ源は一様で密度の濃いプラズマを作ることができるので、大電流イオン源に広く用いられるようになっている。このプラズマ源から電子ビームを引きだせば大面積、大電流の電子ビームが得られる。ここではバケットプラズマ源より30KeV、12Aの長さ26cmのリニア電子ビームを引き出し、その特性を測定した。
横倉 賢治; 池田 佳隆; 今井 剛; 菅沼 和明; 永島 孝
真空, 31(5), p.359 - 364, 1988/00
JT-60高周波加熱装置における、真空排気設備の設計方針および概要と性能について報告する。本排気設備は、コンパクトな型状で大排気量狙ったクライオポンプシステムと、ランチャーエージング過程を解明するためのガス分析システムおよび、低コストを実現しながら、多機能で高信頼性の両立を具体化した制御設備等に特徴がある。
荻原 徳男; 山下 幸彦; 横溝 英明; 前野 勝樹; 島田 徹*; 君島 文雄*
真空, 31(5), p.406 - 409, 1988/00
核融合装置におけるプラズマ周辺部の圧力測定は、プラズマ粒子の閉じ込め特性を評価する上で、あるいは、ダイバータ効果を評価する上で重要である。そのため、種々の真空計がプラズマ周辺部の圧力測定に用いられてきた。しかし、プラズマを閉じ込めるための強磁場をさける必要があったため、応答速度の速い測定は困難であった。本報告では、強磁場を利用したペニング放電を用いることにより応答速度の速い圧力測定が可能となったことを述べる。
阿部 哲也; 廣木 成治; 村上 義夫; 加藤 由尚*
真空, 30(5), p.382 - 386, 1987/05
1目的・概要 核融合第一壁への低Z材料コーティング技術であるカーボニゼーションの基礎実験を行った。原料ガス(メタン,アセチレン)を流しながらグロー放電させて膜を堆積し、その速度を調べ、同時に膜の除去方法についても放電ガスを変えて除去速度を調べた。 2結果 Ptotal=0.5Pa、i=20
A/cmで(CH
)≒0.1m/hr、(CH)≒0.25m/hrであった。H希釈したガスでは堆積速度は原料ガス分圧(ガス供給速度)に比例し、また放電電流密度に比例することが判明した。炭素膜のエッチング速度は放電ガスによって異なり O:CO:H=26:10:1となった。Oではその速度は0.1~0.2m/hrであった。 堆積膜は干渉色を示した。CH膜は電気絶縁性であり、CH膜は電気伝導性であった。
阿部 哲也; 村上 義夫; 高澤 国夫*; 森井 茂樹*
真空, 30(5), p.221 - 225, 1987/05
耐磁場・耐放射線性等を有する回転真空ポンプの開発を目的として、回転体をセラミックス(Si
N)製、軸受をガスベアリング、シールを非接触ネジシール、回転駆動源をガスタービンとした試験機を試作し各種性能試験を行った。 その結果、耐磁場性に関しては回転数30,000r.p.m.の状態で、正常磁場0.046T(テスラ)(磁場発生装置の最大値)・1時間印加、同様にパルス磁場0.02T(msec)
,10分間(60パルス)印加しても回転数の低下、回転体の温度上昇は認められなかった。
阿部 哲也; 武田 隆治; 村上 義夫; 伊藤 一男*; 鴨志田 利*
真空, 30(5), p.414 - 417, 1987/05
形状記憶合金線(NiiTi,Af109C)をアクチュエータ動力として全金属製真空バルブを試作し、その動作特性を評価した。線径1mm
8本の形状記憶合金線(SMA線)を用いてアクチュエータを構成し、繰り返し動作試験を約6,000回行った。その結果、単純なストップバルブとして使用する限り、動作距離の再現性は問題にならないが、再現性(動作距離の)を問題にするような場合は事前に100回以上の準備運動をする必要がある。 以上の結果をもとに実用的なSMA真空バルブを製作した。
小林 泰彦
no journal, ,
放射線の生物作用は、生体分子に対する局所的なエネルギー付与、すなわち空間的にも時間的にも離散的な物理的相互作用の過程から始まる。したがって、照射細胞における直接の放射線障害だけでなく、照射細胞と非照射細胞が互いに影響を及ぼし合う過程を定量的に解析することが、放射線適応応答やホルミシス効果など低線量域放射線に特有の生体応答を解明する鍵となる。さらに細胞内の特定部位へのピンポイント照射によって、生体分子の照射損傷の感知から修復機構の誘導過程,細胞内及び細胞間シグナル伝達,アポトーシスなどにいたる一連の細胞応答の分子機構を、また高エネルギー粒子線のトラック構造における局所的エネルギー付与分布と生物効果のLET依存性などの特徴的な現象との関係を、それぞれダイレクトに解析することが可能となる。そこでわれわれは、TIARA(高崎研イオン照射研究施設)重イオンマイクロビームを用いて個別の細胞を狙って正確な個数の重イオンを照射し、その影響を長時間追跡観察するシステムを開発した。本システムの概要と最近の研究成果を紹介する。
阿部 哲也
no journal, ,
「真空天秤・四重極質量分析計(QMS)」から構成される複合システム(グラビマス)を用いて再生アルミ地金の品質管理の一環として含有ガス量を、成分ごとに換算重量値として計量管理することを試みている。全含有ガス量は、SUS箔で包んだ再生アルミ地金を真空天秤に吊るしアルミ融点(660C)近傍まで加熱し、ガス放出に由来する地金の重量減から求める。同時に放出ガスをQMS測定し、各ガス成分ごとに分子量及びQMS比感度補正をした電流・時間面積値を求め、この面積値で上記の重量減を按分することにより各ガス成分を換算重量値として表している。また、他の応用例として、復元古代酒の香り成分測定についても述べる。
