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出井 数彦; 北條 喜一; 古野 茂実; 小野 興太郎*; 紀 隆雄*
J.Electron Microsc., 33(4), p.381 - 383, 1984/00
高温(480
C)でアルミニウム中に20keVのエネルギーで注入したヘリウムの存在状態を研究するために、電子顕微鏡附属の透過電子エネルギー分析計を用いてヘリウムの分析を行った。電顕により観察された多数のバブル中に高密度のヘリウムが存在していることが透過電子エネルギースペクトルの解析から判った。スペクトルの強度とヘリウムの全イオン化断面積の理論値からバブル中のヘリウムの原子密度は約6
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であると推定した。高密度ガスの状態方程式を用いてバブル中のヘリウムガスの圧力を計算し、240barの値を得た。このような高圧ガスの存在はブリスター発生の原因となるものである。
on fission tracks in polyvinylidene fluoride古牧 睦英; 大津 仁; 石川 二郎; 桜井 勉
J.Electron Microsc., 31(2), p.191 - 193, 1982/00
PVDFのFFトラックを電顕観察するに先立って、アルカリエッチングしたporousなフィルムとエッチングしない貫通孔の無いフィルムとについて、それぞれUFおよびRuO
等の活性物質を作用させて、トラック部分に局所的に反応したとき、その電顕観察に及ぼす効果を検討した。porousなフィルムではUFによって電顕像は著しく鮮明になったが、エッチングしないフィルムでは反応条件を更に改良する必要が認められた。RuOによるそれぞれのフィルムに対する効果は、UFほど、顕著ではなかった。
古牧 睦英; 大津 仁
J.Electron Microsc., 30(4), p.292 - 297, 1981/00
PVDFのFFトラックを種々なエッチング剤で処理し、電顕で観察した。アルカリ液では確実にトラック像の現出を認めることができたが、アルコールの添加はエッチング速度を増加させず、時間をかけても像の拡大は認められないことが分った。重クロム酸カリウムの硫酸溶液でも、長時間の末にもトラック像は認められなかった。過マンガン酸カリウム液では、フィルム表面にMnO
らしい薄層が形成され、トラック像の確認がさまたげられた。有機溶媒による場合について、その溶解機構とトラック現出について若干考察した。
ions in solids古野 茂実; 大津 仁; 出井 数彦
J.Electron Microsc., 30(4), p.327 - 330, 1981/00
タンデム加速器による最初の実験として、130MeVのClイオンを無機化合物(MoO
およびMoS)薄膜結晶に照射して、形成された飛跡を電顕により観察した結果について報告する。Clイオンを試料表面に対して垂直方向からMoO結晶に入射させると入射粒子の数に対応して直径約40
の穴が生じ、イオンの固体検出器としての有効性を示した。次にClイオンを表面に斜め方向から入射させた場合にはMoOにおいては巾約40の直線状飛跡が、またMoSにおいては直線状に並んだ反転からなる飛跡を観察した。前者においては、電子励起過程に費やされたイオンのエネルギーによる熱スパイク効果が飛跡形成の主因であり、後者では電子励起よりも核的衝突による不連続なエネルギー付与が主因となって、このような飛跡が形成されたものと解釈した。また入射イオンの高角度散乱を示す飛跡がまれに観察されることを示し、衝突の際のエネルギー伝達について定量的検討を行った。
古野 茂実; 出井 数彦; 大津 仁
J.Electron Microsc., 28(3), p.182 - 184, 1979/00
超高分解能電子顕微鏡を使って、MoSの観察を行い、C面に投影された原子配列の像を得た。この像で最短原子間距離1.8が分解されている。これは以前発表したシリコン(110)像の場合と同様に、レンズ収差の無い条件になる様な適当なdefocus量,?fを選んで観察したものと考えられる。以上の観察の結果と観察に必要な条件について報告する。
出井 数彦; 古野 茂実; 西田 雄彦; 大津 仁; 桑原 茂也*
J.Electron Microsc., 27(3), p.171 - 179, 1978/03
(110)結晶面上に投影されたシリコンの原子像が高分解能電子顕微鏡によって観察された。原子の像はピントのずれや結晶の厚さによっていろいろな変化を示すが、最も理想に近い像を得るための条件を電子回折多波n-slice理論に基いた理論計算によって探し、実験上の制限と高分解能原子像撮影の可能性について議論した。その結果理想像を得るに適した最適な試料の厚さ(約100
と最適なピントのずれの値が存在することを見出し、実験的にこれらの条件に適合させることは、かなり困難であるが、不可能でないことを結論し、吾々の観察結果に対して理論的根拠を与えた。
出井 数彦; 古野 茂実; 大津 仁
J.Electron Microsc., 26(2), p.129 - 132, 1977/02
球面収差係数が0.7mmの高分解能専用のポールピースを装着した電子顕微鏡を用いて、シリコン単結晶薄膜を高倍率(1,000,000)で観察し、ダイヤモンド型格子構造の原子配列の(111)、(110)、(100)面への投影の原子位置と1対1に対応する二次元多波格子像を撮影することが出来たので、その結果について報告する。 従来この種の格子像で得られている最高の分解能は金の(100)投影で原子位置間隔~2であるが、今回吾々の結果では(110)投影で~1.4という最高分解能点間隔がえられた。
出井 数彦; 西田 雄彦; 古野 茂実
J.Electron Microsc., 22(4), p.329 - 336, 1973/04
くさび形結晶の電顕像で観察される等厚干渉縞は結晶中で励起される電子波の強度が「うなり」を生じているために起こるのであるが、この「うなり」の固期
gは物質固有の量として重要な意味をもち、一方応用面でも結晶の厚さの測定に利用されている。通常の100KV級の電顕の場合にはgの値として2波近似による計算結果が適用出来る場合が多いが1000KV級の超高圧電顕では多波効果が避けられなくなる。本論文ではシリコン単結晶の等厚干渉縞を超高圧電顕で、色々な回折条件の下で観察して、gに対する多波効果を実験的に調べ、電子回折動力学理論多波近似によるgの計算値と比較した。その結果両者の間の一致はかなりよいことが示された。
出井 数彦; 大津 仁
J.Electron Microsc., 18(4), p.257 - 265, 1969/00
抄録なし
出井 数彦; 大津 仁
J.Electron Microsc., 12(1), p.75 - 75, 1963/00
最近透過電顕による格子欠陥の研究の発展に件い、格子欠陥の電顕像が僅かな回折条件の変化に大きく影響されることから試料傾斜装置への要望が高まりすでに数種類製作されている。これらはいずれも試料を固定軸の周引こ回転させてー方向に傾斜、或は互に垂直な2軸の局リの回転を組み合わせて任意の方向に傾斜させるものである。任意方向傾斜の方が望ましいが傾斜の機構がやや複雑で実用上種々の不便がある。我々は傾斜機構の簡単化を意図し、全く新しい方式により、すなわち球面の擦り合わせを利用して、球面の曲率中心を回転中心として試料を任意の方向に回転、傾斜させる装置を設計し、充分実用に供し得るものを製作した。以下にこの装置の概要を説明する。