Sensitized etching in CR-39 copolymerized with methacryloyl-L-alanine methyl ester

メタクリロイル-L-アラニンメチルエステルと共重合したCR-39における増感エッチング

玉田正男; 吉田勝; 浅野雅春; 大道英樹; 片貝良一*; Trautmann, C.*; Vetter, J.*; Spohr, R.*

Tamada, Masao; Yoshida, Masaru; Asano, Masaharu; Omichi, Hideki; Katakai, Ryoichi*; Trautmann, C.*; Vetter, J.*; Spohr, R.*

ジエチレングリコール=ビス=アリルカーボナート及び5から60%までの体積百分率のメタクリロイル-L-アラニンルチルエステル(MA-L-AlaOMe)からコポリマー膜を調製した。これらの膜を13MeV/nucleonの金イオンで照射した後、60 $^{circ}$ CのNaOH水溶液でエッチングを行ったところ、4Nから8NのNaOH溶液でエッチングの増感現象が認められた。また、40%のMA-L-AlaOMeを含むコポリマーでは孔径の発達速度はMA-L-AlaOMeを含まない場合の30倍に達した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	GSI 93-1
巻	:
号	:
ページ数	:	P. 290
発行年月	:	1993/03
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キーワード	:	ジエチレングリコール; ビス; アリルカーボナート; メタクリロイル-L-アラニンメチルエステル; 金イオン照射; エッチング; 増感現象; NaOH

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登録番号 : A19920448
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 27212

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