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Depth profile of trapped charges in oxide layer of 6H-SiC metal-oxide-semiconductor structures

6H-SiC MOS構造酸化膜中のトラップ電荷の深さ方向分布

吉川 正人; 斉藤 一成*; 大島 武; 伊藤 久義; 梨山 勇; 吉田 貞史*; 奥村 元*; 高橋 芳博*; 大西 一功*

Yoshikawa, Masahito; not registered; Oshima, Takeshi; Ito, Hisayoshi; Nashiyama, Isamu; Yoshida, Sadafumi*; Okumura, Hajime*; Takahashi, Yoshihiro*; Onishi, Kazunori*

希釈したフッ酸中でのエッチング時間を変えることにより、斜めにエッチングした酸化膜を、6H-SiC基板上に作製し、それを用いて6H-SiC MOS構造を形成した。酸化膜の関数として、ミッドギャップ条件に対応するゲート電圧の変化を調べるために、高周波C-V特性の測定を行った。その結果、負電荷が6H-SiC/SiO$$_{2}$$界面近傍に蓄積し、正電荷が界面から40nmの領域に発生することがわかった。6H-SiCのカーボン面及びシリコン面上の固定電荷の深さ方向分布を調べたが、特別な違いは認められなかった。これらトラップ電荷の原因が、酸化膜中のカーボン関連の化合物の存在と合せて議論された。

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パーセンタイル:70.73

分野:Physics, Applied

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