Initial oxidation of Si(110) as evaluated with real-time XPS

リアルタイムXPSで評価したSi(110)表面の初期酸化

末光 眞希*; 加藤 篤*; 富樫 秀晃*; 今野 篤史*; 山本 喜久*; 寺岡 有殿; 吉越 章隆 ; 成田 克*

Suemitsu, Maki*; Kato, Atsushi*; Togashi, Hideaki*; Konno, Atsushi*; Yamamoto, Yoshihisa*; Teraoka, Yuden; Yoshigoe, Akitaka; Narita, Yuzuru*

次世代CMOSテクノロジーのキーテクノロジーと目されるSi(110)表面の初期ドライ酸化過程を、放射光光電子分光を用いて調べた。高温・低圧反応領域におけるSi(110)表面酸化物の時間発展は、3種類の時間領域からなることが明らかになった。これは従来のSi(001)表面が単独の時間領域を示すことと対照的である。Si(110)初期酸化の特徴は、同表面の原子構造によって理解可能である。

Initial kinetics in dry oxidation of Si(110) surface, a key technology in the next-generation CMOS technology, has been investigated by using synchrotron-radiation photoemission spectroscopy. As a result, the uptake curve of the Si(110) oxide in its high-pressure-low-temperature reaction regime is found to consist of three characteristic time domains, in sharp contrast with the single domain obtained on Si(001). The difference is understood in terms of the different atomistic arrangement on the surface.