Metal adsorbent for alkaline etching aqua solutions of Si wafer

シリコンウエーハーのアルカリエッチング溶液用金属捕集材

玉田 正男; 植木 悠二; 瀬古 典明; 竹田 俊英*; 川野 伸一*

Tamada, Masao; Ueki, Yuji; Seko, Noriaki; Takeda, Toshihide*; Kawano, Shinichi*

半導体の製造プロセスにおいて、シリコンウエーハー表面は48%のアルカリ溶液でエッチング処理される。このアルカリ溶液にニッケルや銅イオンが含まれていると、シリコンウエーハー表面に小さな凹みが発生し、生産効率の低下を招くことになる。市販の捕集材は、強アルカリ溶液中で収縮し、金属イオン性能が十分に発揮できない。そこで、放射線グラフト重合法により、ポリエチレン基材に金属除去機能を導入して、強アルカリ溶液中で使用可能な繊維状の捕集材を作製した。水にモノマーを分散することで反応効率が向上するエマルショングラフト重合を適合することにより、合理的なコストで製造することが可能となり、メトレートという商標で実用化した。メトレートは市販の捕集材の10倍の吸着容量と吸着処理速度を有している。

In the fabrication process of semiconductor, Si wafer surface is etched by strong-alkaline aqua solutions such as 48 % NaOH and KOH. If the etchant is contaminated by Ni and Cu, smalls pits which appeared on Si surface in the process of surface polishing caused poor production yield of the Si wafers. Available commodity adsorbent resins shrink in the high concentration of alkaline aqua solutions and bias flow occurred in the case of their column packing. Hence, novel fibrous adsorbent was synthesized by radiation-induce graft polymerization on nonwoven materials composed of pure polyethylene fibers. The obtained fibrous adsorbent module (TM: Metolate) had practical cost and performance that flow rate is ten times and effective capacity is some tens times higher than commercialized adsorbent resins and fibers.