Si(100)基板上3C-SiC(100)エピタキシャル薄膜のグラフェン形成過程のLEED及びSR-XPS観察

LEED and SR-XPS observations on graphitization of epitaxial 3C-SiC(100) filmson Si(100) substrates

猪俣 州哉*; 半田 浩之*; 阿部 峻佑*; 高橋 良太*; 今泉 京*; 吹留 博一*; 寺岡 有殿; 吉越 章隆 ; 小嗣 真人*; 大河内 拓雄*; 木下 豊彦*; 末光 眞希*

Inomata, Shuya*; Handa, Hiroyuki*; Abe, Shunsuke*; Takahashi, Ryota*; Imaizumi, Kei*; Fukidome, Hirokazu*; Teraoka, Yuden; Yoshigoe, Akitaka; Kotsugi, Masato*; Okochi, Takuo*; Kinoshita, Toyohiko*; Suemitsu, Maki*

低エネルギー電子回折(LEED)と放射光X線光電子分光(SR-XPS)を用いて3C-SiC(100)/Si表面へのグラフェン形成過程を評価した。LEEDパターンから一定角(15度)を持って回転しながら積層するrotational stackingが起こっていることがわかった。また、C1s光電子スペクトルの角度分解測定の結果から、Si終端3C-SiC(111)面やSi終端6H-SiC(0001)面上にグラフェンを形成したときに見られた界面層が存在しないことが明らかとなった。以上の結果から、3C-SiC(100)/Si(100)基板上のグラフェン形成過程においては、グラフェン層間相互作用が少なく、各層が単層グラフェンとしての性質を保持すると期待される。

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