イオンマイクロビームがもたらすPTFE表面の三次元構造変化

Morphological change in PTFE induced by ion microbeam irradiation

喜多村 茜; 佐藤 隆博; 江夏 昌志; 神谷 富裕; 小林 知洋*

Kitamura, Akane; Sato, Takahiro; Koka, Masashi; Kamiya, Tomihiro; Kobayashi, Tomohiro*

イオンマイクロビームがPTFE(テフロン)表面の微細加工に有用であることをより明らかにするため、直径1mに集束させたエネルギー3MeV,電流値200pAのプロトンビームを用いた実験を行った。この結果から、照射効果に影響を与えることが予想された3つのパラメータであるビーム走査の速度,形状及び繰返回数(同一の形状で重ね描く回数)のそれぞれについて、表面隆起による三次元構造体を形成する条件を明らかにした。また、同一の照射量の場合であっても、走査の速度及び繰返回数の組合せにより、照射量に対応した異なった形状を得ることができた。これらの形状変化は、照射条件で異なる試料表面温度及び上昇速度の特性にも起因していると推察される。

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