Microfabrication on Teflon surface by MeV-proton-microbeam and keV-nitrogen-ion-beam irradiation

MeV級プロトンマイクロビームとkeV級窒素化イオンビーム照射によるテフロン表面の微細加工

Kitamura, Akane; Sato, Takahiro; Koka, Masashi; Kobayashi, Tomohiro*; Kamiya, Tomihiro

The micropatterns were created at PTFE surfaces covered with micro-protorusions using proton beam writing (PBW) and subsequent ion beam irradiation. The density of the inner sample was decreased by PBW and their patterns appeared after the keV ion beam irradiation. Their surface was very flat because they were melted by beam heating. The best fluenences of these beams for creating the surface were also obtained.

使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	307
号	:
ページ数	:	p.610 - 613
発行年月	:	2013/07
発表会議名	:	18th International Conference on Ion Beam Modifications of Materials (IBMM 2012)
開催年月	:	2012/09
開催都市	:	Qingdao
開催国	:	China
キーワード	:	no keyword

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.1016/j.nimb.2013.01.017
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:	イオンマイクロビームでテフロンの微細加工に成功; 高分子材料表面の新しい微細加工技術の開発[/]
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:	パーセンタイル：44.02 分野：Instruments & Instrumentation
Altmetrics	:

登録番号 : BB20121170
抄録集掲載番号 : 41000903
論文投稿番号 : 12847

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