統合Si酸化反応モデルの実験的検証,6; Si(111)における準安定吸着酸素分子の挙動

Experimental verification of the unified Si oxidation reaction model, 6; Behavior of metastable oxygen on Si(111) surfaces

西本究*; Tang, J.*; 小川修一*; 吉越章隆 ; 石塚眞治*; 渡辺大輝*; 寺岡有殿; 高桑雄二*

Nishimoto, Kiwamu*; Tang, J.*; Ogawa, Shuichi*; Yoshigoe, Akitaka; Ishizuka, Shinji*; Watanabe, Daiki*; Teraoka, Yuden; Takakuwa, Yuji*

Si(111)-77表面酸化では準安定吸着酸素分子(O $_{2}$ $^{*}$ )が長い寿命を持ち、Si(001)-21表面酸化とは異なる酸化反応様式を示すことがわかっている。本研究ではSi(111)-77表面室温酸化過程におけるO $_{2}$ $^{*}$ 分子の挙動を解明するため、酸素吸着曲線、仕事関数、バンドベンディング、OとSi原子の化学結合状態を光電子分光によりリアルタイム観察した。O $_{2}$ ガスの供給停止後に酸素吸着状態が顕著に変化することがO2pとO1s光電子スペクトルから観察され、また、仕事関数も変化することから、O $_{2}$ $^{*}$ 分子が解離してシリコン表面内部に潜り込み、酸化状態が分子状吸着からバックボンド酸化状態に変化することがわかった。

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使用言語	:	Japanese
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発行年月	:
発表会議名	:	2013年(平成25年)第60回応用物理学会春季学術講演会
開催年月	:	2013/03
開催都市	:	厚木
開催国	:	日本
キーワード	:	no keyword

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使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
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受委託・共同研究相手機関	:	東北大学

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