Ti(0001)表面酸化における極薄酸化膜成長と酸化状態

Oxidation state during growth of very thin oxide on Ti(0001) surface

高桑 雄二*; 石塚 眞治*; 吉越 章隆 ; 寺岡 有殿; 盛谷 浩右; 小川 修一*; 水野 善之*; 頓田 英機*; 本間 禎一*

Takakuwa, Yuji*; Ishizuka, Shinji*; Yoshigoe, Akitaka; Teraoka, Yuden; Moritani, Kosuke; Ogawa, Shuichi*; Mizuno, Yoshiyuki*; Tonda, Hideki*; Homma, Teiichi*

Ti(0001)表面の酸化反応を400C, 3.710Paの反応条件のもとで放射光を用いてその場リアルタイム光電子分光観察した。酸素の吸着曲線は45-85Lで一旦台形状になるが、その後増加した。この再増加はTiの酸化状態がTiOからTiOに変化することに伴って起こる。結局、酸素の吸着曲線の特異的な変化はTiの酸化状態の変化に対応していることがわかった。

The oxidation reaction of Ti(0001) surface by oxygen molecules was observed by real-time in-situ photoemission spectroscopy using synchrotron radiation in the conditions of 400C and 3.710 Pa. The uptake curve of oxygen showed a plateau at the dose of 45-85 L and then increased again. This re-growth of oxide film was attributed to the drastic change of Ti oxidation state from TiO to TiO. Consequently, the characteristic change of the uptake curve was caused by the oxidation state change of Ti atoms.