高分解能イオン誘起発光分析に用いる顕微光学系の開発

Development of micro-optical system for high-resolution ionoluminescence analysis

加田 渉*; 三浦 健太*; 花泉 修*; 横山 彰人; 喜多村 茜; 江夏 昌志; 佐藤 隆博; 神谷 富裕

Kada, Wataru*; Miura, Kenta*; Hanaizumi, Osamu*; Yokoyama, Akihito; Kitamura, Akane; Koka, Masashi; Sato, Takahiro; Kamiya, Tomihiro

プロトンマイクロビームを試料に照射することで誘起するionoluminescence (IL)の波長を高分解能で分析することにより、微小領域の化学組成情報が得られる。本研究では、既存のIL検出システムの高感度化を目的に、IL検出光学系とイオンマイクロビームの焦点を一致させた共焦点顕微光学系を開発するとともに、この光学系の反対側の焦点に、直径800mの光ファイバを介して、背面入射冷却CCDの分光器を設置した。その結果、外乱光の遮断によるバックグラウンドの低下により、従来はほとんどILスペクトルが得られなかったAlO:Cr試料から、Crに対応する幅の狭い689nmのピークを精度よく計測することに成功した。

no abstracts in English