pダイオードの収集電荷量効率の低下p diodes irradiated with Au ions岩本 直也; 大島 武; 佐藤 隆博; 及川 将一; 小野田 忍; 菱木 繁臣; 平尾 敏雄; 神谷 富裕; 横山 琢郎*; 坂本 愛理*; 田中 礼三郎*; 中野 逸夫*; Wagner, G.*; 伊藤 久義; 河野 勝泰*
Iwamoto, Naoya; Oshima, Takeshi; Sato, Takahiro; Oikawa, Masakazu; Onoda, Shinobu; Hishiki, Shigeomi; Hirao, Toshio; Kamiya, Tomihiro; Yokoyama, Takuro*; Sakamoto, Airi*; Tanaka, Reisaburo*; Nakano, Itsuo*; Wagner, G.*; Ito, Hisayoshi; Kawano, Katsuyasu*
炭化ケイ素(SiC)のイオン照射効果を明らかにするため、SiCダイオードに金(Au)イオンが入射する際に発生する過渡電流計測を行った。実験には、p型エピタキシャル6H-SiC膜にリン(P)イオンを注入して作製したnpダイオードを用いた。10及び12MeV-Auイオン入射によるイオンビーム励起過渡電流(TIBIC)を測定し、TIBICシグナルを時間積分することで収集電荷量を求めた。その結果、得られた収集電荷量が、理想値の50%程度であることが判明した。これまで、酸素及びシリコンイオンでは、実験的に得られた収集電荷量は理想値とほぼ一致することを明らかにしているが、今回のAuイオン照射で得られた結果は、Auイオンのような重イオンが入射することで、SiC中に高密度の電子-正孔対が生成され、その一部が再結合により収集前に消滅するためであると考えられる。
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使用言語 |
: | Japanese |
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: | 2006/08 |
開催都市 |
: | 草津 |
開催国 |
: | 日本 |
キーワード |
: | no keyword |
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