HAXPESによるNEG材料表面の気体吸着作用の研究

Study of gas adsorption on the surface of NEG materials by HAXPES

小畠 雅明  ; 諸橋 裕子 ; 阿部 一英; 山田 逸平 ; 福田 竜生  ; 小荒井 一真   ; 谷田 肇  ; 神谷 潤一郎   

Kobata, Masaaki; Morohashi, Yuko; Abe, Kazuhide; Yamada, Ippei; Fukuda, Tatsuo; Koarai, Kazuma; Tanida, Hajime; Kamiya, Junichiro

本研究は、チタン基板を用いた非蒸発型ゲッター(NEG)コーティング技術の改良を目指し、特に低温での活性化と繰り返し性能の向上に焦点を当てた。硬X線光電子分光法(HAXPES)と二次イオン質量分析(SIMS)を活用して、NEGの活性化および劣化メカニズムを詳細に解析し、基板材質や表面処理がこれらに及ぼす影響を評価した。具体的には、チタン、ステンレス鋼(SUS316)、ベリリウム銅(BeCu)の各基板を比較し、NEG特性への影響を調査した。その結果、ベリリウム銅基板が最も低温で活性化が開始されることが示唆され、NEGの低温活性化に有利な基板材質である可能性が明らかとなった。

This study aimed to improve non-evaporable getter (NEG) coating technology on titanium substrates, focusing on lowering activation temperatures and enhancing repeatability. Using Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy (HAXPES) and Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS), we analyzed NEG activation and degradation mechanisms. The effects of titanium, stainless steel (SUS316), and beryllium copper (BeCu) substrates on NEG properties were compared. Results suggested that the BeCu substrate had the lowest activation temperature, indicating its potential advantage for low-temperature NEG activation.