プロトンビーム描画による波長1.5m帯用PMMA導波路の試作

Fabrication of PMMA waveguides for the 1.5-m-wavelength range by using proton beam writing

三浦 健太*; 町田 裕貴*; 上原 政人*; 花泉 修*; 石井 保行; 佐藤 隆博; 高野 勝昌; 大久保 猛; 山崎 明義; 井上 愛知; 江夏 昌志; 横山 彰人; 神谷 富裕; 小嶋 拓治; 西川 宏之*

Miura, Kenta*; Machida, Yuki*; Uehara, Masato*; Hanaizumi, Osamu*; Ishii, Yasuyuki; Sato, Takahiro; Takano, Katsuyoshi; Okubo, Takeru; Yamazaki, Akiyoshi; Inoue, Aichi; Koka, Masashi; Yokoyama, Akihito; Kamiya, Tomihiro; Kojima, Takuji; Nishikawa, Hiroyuki*

プロトンビーム描画(Proton Beam Writing: PBW)は、次世代の微細加工技術として注目されているが、PMMAへのプロトン照射による屈折率向上効果を利用することによって、光導波路形成への応用も可能である。今回われわれは、PBWを利用したPMMA導波路を提案し、813mで、長さ10mm程度の直線導波路を6種類試作した。波長1.55mで伝搬長6mmの光を導波路に導入し導波路の状態を評価した。試作した導波路のうち幅8mのもので、波長1.55mの光伝搬(シングルモード)を確認でき、光導波路として良好であることもわかった。発表では光導波路の構造,製作方法、及び観察結果について報告する。

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